砷化镓衬底上的多层变形缓冲层的制作方法

摘要

一种砷化镓衬底上的多层变形缓冲层的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：取一砷化镓衬底；步骤2：将砷化镓衬底进行脱氧处理；步骤3：在砷化镓衬底上生长砷化镓缓冲层，以获得平整的表面；步骤4：在低温范围内生长一铟铝砷缓冲层，该铟铝砷缓冲层为一层、两层或多层结构，以达到外延生长过程晶格常数的改变；步骤5：在生长完铟铝砷缓冲层后，升高砷化镓衬底温度，进行高温热退火，释放外延层的应力。