公开/公告号CN101131531A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-02-27
原文格式PDF
申请/专利权人 普立尔科技股份有限公司;
申请/专利号CN200610109901.X
发明设计人 吴景淼;
申请日2006-08-22
分类号G03B21/14(20060101);G02B27/10(20060101);G03B21/00(20060101);
代理机构11139 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司;
代理人孙皓晨
地址 中国台湾
入库时间 2023-12-17 19:45:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-11-18
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-06-17
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
2008-04-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-02-27
公开
公开
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法