利用衍射效应的表面微柱阵列结构高效率发光二极管

摘要

一种利用衍射效应的表面微柱阵列结构高效率发光二极管，其结构如下：在蓝宝石衬底的缓冲层上生长着N型GaN；在N型GaN层上生长着GaN有源层；在有源层上生长着P型GaN层；在P型GaN层上刻蚀出微柱阵列，该阵列可以是周期性排列的，也可以是非周期排列的二维结构；在P型GaN层上铺设有P型电极和P型焊盘；在N型GaN层上铺设有N型电极和N型焊盘。其优点是利用了光的衍射效应，通过微柱阵列使光充分导出，提高发光效率，并使发光面出光分布均匀；与采用二维光子晶体的发光二极管相比，该结构的制作工艺简单、生产成本低；与传统表面粗糙化处理的发光二极管相比，该结构的出光效率要高得多。