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用于聚焦离子束显微镜的样品载体

摘要

本发明公开了一种用于聚焦离子束显微镜的样品载体,其包括平台和支撑该平台的金属底座,该平台表面开设有一个长方形槽,该长方形槽的至少一个端面设有可调节移动的固定轴,该固定轴的一端连接一个固定样品的金属垫片。本发明可有效地避免或减少在取样时对样品的损伤,并可增大样品的可操作面积。

著录项

  • 公开/公告号CN101105465A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-01-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华虹NEC电子有限公司;

    申请/专利号CN200610028946.4

  • 发明设计人 唐湧耀;裘莺;

    申请日2006-07-14

  • 分类号G01N23/22(20060101);H01J49/02(20060101);

  • 代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;

  • 代理人顾继光

  • 地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号

  • 入库时间 2023-12-17 19:37:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-11-24

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N23/22 公开日:20080116 申请日:20060714

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2008-03-05

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-01-16

    公开

    公开

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