法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-10-03
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/34 申请公布日:20071226 申请日:20070108
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-05-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-12-26
公开
公开
机译: 金属薄膜和金属布线图案的形成方法以及显示面板的制造方法
机译: 金属薄膜和金属布线图案的形成方法以及显示面板的制造方法
机译: 金属薄膜和金属配线图案的形成方法以及显示面板的制造方法