检查用光学装置、以及具有该光学装置的检查装置和检查方法

摘要

目的在于提供一种能够缩小空间、并且通用性强的检查用光学装置。是向透镜组件(102)投影作为配置在规定位置上的检查用的被拍物的规定图案的光学装置(1)，具有：形成图案的测试图(12)；从透镜组件(100)来看、从测试图(12)的背后侧对测试图(12)照射光的光源(11)；以及设置在测试图(12)和物镜(101)之间的物体距离变换透镜(3)，物体距离变换透镜(3)为了将来自测试图(12)的光转变为等同于比测试图(12)更远处的光，将来自测试图(12)的各同族光束(LF)呈放射状地射出，同时射出各同族光束(LF)，使得各同族光束(LF)的主光线(ML)互相会聚，测试图(12)配置在比上述规定位置更靠近透镜组件(100)的位置上。