具有阻挡层冗余特征的互连结构

摘要

提供一种包括阻挡层冗余特征的互连结构及其形成方法，所述阻挡层冗余特征能够避免电迁移(EM)失效后的电路突然开路。根据本发明，所述阻挡层冗余特征位于所述互连结构内的预选位置内，包括在宽线路区域、窄线路区域或它们的任何组合中。所述阻挡层冗余特征包括导电材料，所述导电材料位于导电线路的导电线路扩散阻挡层与上覆过孔的过孔扩散阻挡层之间并与它们接触。本发明的阻挡层冗余特征的存在在沿着所述过孔的侧壁的所述过孔扩散阻挡层与沿着所述导电线路的侧壁的所述导电线路扩散阻挡层之间产生电通路。通过本发明的阻挡层冗余特征所产生的该电通路可以避免由在过孔底部处的EM失效所导致的电路突然开路。在互连结构内的本发明的阻挡层冗余特征的存在为芯片替换或者系统操作提供了充足的时间。