光波导阵列、制造方法以及使用相同光波导阵列和制造方法的光学系统

摘要

用于输出均匀性和准直性都有所提高的光线的光波导阵列(30)包括支撑材料(35)和形成于该支撑材料中的多个光波导(32)。每个光波导(32)都具有用于接收光线的入射光瞳和用于输出光线的出射光瞳。光波导(32)可以是穿过支撑材料(35)的固体管或中空的通道。支撑材料(35)可以是像Al，Au，Ni这样的金属，像硅、多晶硅、SiC、GaAs这样的半导体材料，或光学透明材料。半导体制造技术可以被用于构建该阵列。该阵列可以被包括在光学投影系统(125)中以提高性能。