夹具特性测定装置、方法、程序、记录介质以及网络分析器、半导体试验装置

摘要

本发明涉及在运算测量被测定物的电路参数时使用的夹具的特性的测定。一种用于测定具有连接DUT2和网络分析器1的信号线3a、3b、3c、3d的夹具3的夹具特性(亦即信号线3a、3b、3c、3d的反射特性、传输S参数等)的夹具特性测定装置，在DUT2不连接在信号线3a、3b、3c、3d上的开路状态下，测定信号线3a、3b、3c、3d的反射系数，在信号线3a、3b、3c、3d全部接地的短路状态下，测定信号线3a、3b、3c、3d的反射系数，根据这些测定结果，导出夹具3的夹具特性。