集成电路振动夹具传递特性的无接触测量方法

摘要

为了解决传统的接触式加速度传感器测量方式无法测量集成电路在夹具中的动态响应的问题,提出了基于激光测振仪测量的无接触的集成电路样品端传递特性的测量方法.阐述了激光测振仪测试原理,从增强激光反射信号、传递特性测试方法两个方面进行了研究,并用实例验证了所提出的方法的有效性.