用于化学机械抛光金属表面的含金属氧化物颗粒及阳离子聚合物的分散体

摘要

本发明涉及用于对金属表面实施化学机械抛光的含水分散体，其含有金属氧化物粉末及阳离子表面活性聚合物，其特征在于，所述金属氧化物粉末是二氧化硅、氧化铝或二氧化硅与氧化铝的混合氧化物，而所述阳离子表面活性聚合物是溶解在所述分散体中且重均分子量小于100,000克/摩尔的聚烯丙基胺或聚二烯丙基胺。该分散体可用于对施加在绝缘阻挡层上的金属层及金属膜实施化学机械抛光。