尤其适用于微系统技术领域，运用干涉测量和基于成像处理进行组合式几何检测的设备和方法

摘要

本发明设备包含一个至少具有两种测量模式的物镜。在第一种干涉模式中，对测量对象9进行干涉光学测量。在第二种成像处理模式中，则在类似摄像机构造的检测器阵列上生成测量对象的图像，并将其传输到图像处理程序中。通过对不同物镜照射方式的选择，以及在干涉仪的基准光路上安装相应元件，根据测量用光的不同光谱组成激活或休眠基准光路，可以实现两种测量模式之间的转换。这种测量方式之间的转换具有简单、快速的特点，不需要更换，甚至无需移动物镜。除了快速的优点外，通过干涉测量和成像处理两种方法获得的测量数据产生于同一个参照坐标系内，因此，互相之间具有良好的关联性。