法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-01-14
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-05-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-03-28
公开
公开
机译: 制备衍射光学元件的方法,以及用于制造衍射光学元件的模具,以及由制造衍射光学元件的方法和光学系统制造的衍射光学元件,以及应用该衍射方法的光学装置和装置,
机译: 衍射光学元件,衍射光学元件的多面体,管理衍射光学元件的方法以及检查衍射光学元件的方法
机译: 光辐照装置,光辐照装置的制造方法,衍射光学元件多聚体组件,衍射光学元件多聚体组件的制造方法,衍射光学元件以及衍射光学元件的制造方法