公开/公告号CN1915595A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-02-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN200610030551.8
申请日2006-08-30
分类号B24B57/00;C25C1/00;B24B53/00;
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-12-17 18:12:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-07-21
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B57/00 公开日:20070221 申请日:20060830
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-04-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-02-21
公开
公开
机译: 用于半导体晶片层化学机械抛光的原位终点检测过程使用离子选择电极来监测抛光液和试剂溶液混合物中的离子浓度变化
机译: 使用固定抛光垫的铜化学机械抛光方法和使用固定抛光垫的铜层化学机械抛光液
机译: 化学机械抛光液,半导体基体制造方法及使用所述抛光液的抛光方法