具有鳍类型沟道区域的非易失存储装置及其制备方法

摘要

本发明提供了一种非易失存储装置及其制备方法，其通过减小每个位的面积和控制主体偏压而具有提高的集成度并/或提高的性能。该非易失存储装置可以使用至少一对鳍的外侧表面和/或上表面的表面部分作为至少一对沟道区域，该至少一对鳍从主体突出并彼此间隔开地沿一个方向延伸。至少一个控制栅电极可以形成来跨过该沟道区域，并且至少一对存储节点可以插入在控制栅电极和沟道区域之间的至少一个部分。