公开/公告号CN1902337A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-01-24
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申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN200480033445.4
发明设计人 维嘉·纳拉亚纳恩;芬顿·麦克菲利;基思·R.·米尔科维;约翰·J.·约卡斯;马修·W.·科佩尔;保罗·C.·加米森;罗伊·卡拉瑟斯;小西里尔·卡布拉尔;埃德蒙·斯科斯基;伊丽莎白·达奇;阿莱桑德拉·卡勒加里;苏菲·扎法;中村和仁;
申请日2004-11-11
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人张浩
地址 美国纽约
入库时间 2023-12-17 18:12:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-09-09
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-03-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-01-24
公开
公开
机译: 用于FET栅电极的CVD钽化合物(化学气相累积方法和包括Ta和N的化合物的半导体电场有效器件)
机译: FET栅电极用CVD钽化合物
机译: 用于FET的CVD钽化合物得到电极