高频用磁性薄膜及其制作方法、及磁元件

摘要

在衬底(4)上交替地层叠Co系非晶合金层(2)、和该Co系非晶合金(2)的自然氧化层(3)从而形成多层膜(1)。通过使自然氧化层(3)在该多层膜(1)总体的体积中占的比例为5～50％，就得到能够在GHz频带的高频域利用的高频用磁性薄膜及磁元件。也可以交替地层叠具有成膜时磁场外加方向成为易磁化轴的性质的Co系非晶合金层(2)、和该Co系非晶合金的自然氧化层(3)从而形成多层膜(1)，该形成的多层膜(1)的易磁化轴与多层膜(1)在成膜时的磁场外加方向正交。