法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-08
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L31/18 授权公告日:20090826 终止日期:20180119 申请日:20060119
专利权的终止
2011-09-14
专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):H01L31/18 合同备案号:2011320001033 让与人:浙江大学 受让人:镇江大成新能源有限公司 发明名称:制备氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件的方法 公开日:20060830 授权公告日:20090826 许可种类:独占许可 备案日期:20110719 申请日:20060119
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
2009-08-26
授权
授权
2006-10-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-08-30
公开
公开
技术领域
本发明涉及以ZnO薄膜为紫外发光层的电致发光器件的制备方法,尤其是氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件的制备方法。
背景技术
由于ZnO在室温下具有3.37eV的直接带隙和60mev的激子束缚能,因此它是实现紫外发光的理想的光电子材料。但是,ZnO的电致紫外发光二极管以及激光二极管很难实现,它遇到的最大障碍是ZnO高浓度的P型掺杂存在相当的困难。Toru Aoki等人报道了用激光掺杂实现ZnO二极管,并在110K下获得了紫外发光(参考文献T.Aoki,Y.Hatanaka,and D.C.Look,Appl.Phys.Lett.76,3257(2000));Xin-Li Guo等人利用N2O等离子增强脉冲激光反应沉积法实现了ZnO的P型掺杂,从而获得ZnO发光二极管,不过在紫外光区的发光很微弱(参考文献X.L.Guo,J.H.Choi,H.Tabata,and T.Kawai,Jpn.J.Appl.Phys.40,L177(2001));Atsushi Tsukazaki等人报道了重复温度调制外延法实现P型掺杂,从而制备了ZnO二极管,并获得了从紫外到绿光区域的电致发光,然而紫外区域的发光依然比较弱(参考文献A.Tsukazaki,A.Ohtomo,T.Onuma,M.Ohtani,T.Makino,M.Sumiya,K.Ohtani,S.F.Chichibu,S.Fuke,Y.Segawa,H.Ohno,H.Koinuma,and M.Kawasaki,Nature Mater.4,42(2005))。
在ZnO的可实用化P型掺杂目前还没有彻底解决的情况下,为了避开这个困难,人们曾尝试了多种ZnO基的异质结结构,如:p-SrCu2O2/n-ZnO,p-GaN/n-ZnO纳米棒,p-AlGaN/n-ZnO,p-GaN/i-ZnO/n-ZnO和n-MgZnO/n-ZnO/p-AlGaN/p-GaN,并成功地实现了ZnO的紫外电致发光。报道文献有:H.Ohta,M.Orita,and M.Hirano,and H.Hosono,J.Appl.Phys.89,5720(2001);Won Il Park and Gyu-Chui Yi,Adv.Mater.16,87(2004);Ya.I.Alivov,E.V.Kalinina,A.E.Cherenkov,D.C.Look,B.M.Ataev,A.K.Omaev,M.V.Chukichev,D.M.Bagnall,Appl.Phys.Lett.83,4719(2003);H.Y.Xu,Y.C.Liu,Y.X.Liu,C.S.Xu,C.L.Shao,R.Mu,Appl.Phys.B 00,1-4(2005);A.Osinsky,J.W.Dong,M.Z.Kauser,B.Hertog,A.M.Dabiran,P.P. Chow,S.J.Pearton,O.Lopatiuk and L.Chemyak,Appl.Phys.Lett.85,4272(2004)。
在ZnO的异质结中,由于Si在半导体行业中的主导地位,使得p-Si/n-ZnO异质结有更大的应用潜力。但是,迄今为止制备出的p-Si/n-ZnO异质结多应用于光电器件,并没有实现p-Si/n-ZnO异质结的电致发光。(参考文献:S.E.Nikitin,Yu.A.Nikolaev,I.K.Polushina,V.Yu.Rud,Yu.V.Rud,and E.I.Terukov,Semiconductor 37(11),1291-1295(2003);Munizer Purica,Elena Budianu,EmilRusu,Microelectronic Engineering 51-52,425-431(2000);H.Y.Kim,M.O.Park,J.H.Kim,S.Im,Optical Materials 17,141(2001);J.Y.Lee,Y.S.Choi,W.H.Choi,H.W.Yeom,Y.K.Yoon,J.H.Kim,S.Im,Thin Solid Films 420-421,112-116(2002);C.H.Park,I.S.Jeong,J.H.Kim,and Seongil Im,Applied Physics Letters 82(22),3973-3975(2003))
发明内容
本发明的目的是提出一种制备氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件的方法。
本发明制备的氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件,在硅衬底的正面生长一层ZnO薄膜,在ZnO薄膜上沉积半透明薄膜电极,在硅片背面沉积欧姆接触电极,其具体的工艺步骤如下:
1)将电阻率为0.005-0.02欧姆.厘米的P型重掺杂硅片清洗后放入直流反应磁控溅射装置的反应室中,反应室真空度抽至1~5×10-3Pa,以Zn为靶材,以O2和Ar作为溅射气氛,O2和Ar的流量比为O2∶Ar=1∶2~1∶5,在5~20Pa压强下,衬底温度为300℃~500℃,溅射功率60~120W,进行溅射生长,得到ZnO薄膜;
2)在ZnO薄膜上溅射半透明电极,在P型硅衬底背面溅射欧姆接触电极。
本发明中,溅射在ZnO薄膜上的半透明电极可以是Au或者ITO薄膜。ZnO薄膜的厚度为50~500nm。
本发明用重掺P型硅片与ZnO形成异质结,在反向偏压下(负压加在硅衬底上)可以得到ZnO的室温紫外电致发光。
本发明的有益效果在于:器件的结构和制备方法简单,不需要采用复杂的分子束外延(MBE)和金属有机物化学气相沉积(MOCVD)等手段。而且该器件结构及其制备方法与现行的成熟的硅器件平面工艺兼容。
附图说明
图1是氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件示意图;
图2是氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件在反向偏置下获得的电致发光谱。
具体实施方式
以下结合附图进一步说明本发明。
图1示出了发明的氧化锌/p型硅异质结紫外电致发光器件,在硅衬底1的正面自下而上依次沉积有ZnO薄膜2和电极3,在硅衬底背面沉积有欧姆接触电极4。
实施例1
采取如下工艺步骤:(1)清洗P型<100>重掺硼,电阻率为0.005欧姆.厘米、大小为15×15mm、厚度为675微米的硅片;(2)将硅片放入直流反应磁控溅射装置的反应室中,反应室真空度抽至5×10-3Pa,在溅射时,采用Zn靶、衬底温度300℃、溅射功率60W,通以O2和Ar混合气体,O2和Ar的流量比为O2∶Ar=1∶2,工作压强为5Pa,进行溅射生长,沉积厚度约为50nm的ZnO薄膜;(3)在ZnO薄膜上溅射面积10×10mm2、厚度10nm的Au膜,在硅衬底背面溅射厚度100nm的Au膜。
实施例2
采取如下工艺步骤:(1)清洗P型<100>重掺硼,电阻率为0.01欧姆.厘米、大小为15×15mm、厚度为675微米的硅片;(2)将硅片放入直流反应磁控溅射装置的反应室中,反应室真空度抽至3×10-3Pa,在溅射时,采用Zn靶、衬底温度400℃、溅射功率100W,通以O2和Ar混合气体,O2和Ar的流量比为O2∶Ar=1∶3,工作压强为10Pa,进行溅射生长,沉积厚度约为300nm的ZnO薄膜;(3)在ZnO薄膜上溅射面积10×10mm2、厚度10nm的Au膜,在硅衬底背面溅射厚度100nm的Au膜。
实施例3
采取如下工艺步骤:(1)清洗P型<100>重掺硼,电阻率为0.02欧姆.厘米、大小为15×15mm、厚度为675微米的硅片,(2)将硅片放入直流反应磁控溅射装置的反应室中,反应室真空度抽至3×10-3Pa,在溅射时,采用Zn靶、衬底温度500℃、溅射功率120W,通以O2和Ar混合气体,O2和Ar的流量比为O2∶Ar=1∶5,工作压强为20Pa,进行溅射生长,沉积厚度约为500nm的ZnO薄膜;(3)在ZnO薄膜上溅射面积10×10mm2、厚度10nm的Au膜,在硅衬底背面溅射厚度100nm的Au膜。
图2给出了通过上述方法获得的器件在室温下测得的不同驱动电压/电流下的电致发光(EL)谱,正向偏置时,正压加在硅衬底上。从图中可以看出,随着电流/电压的增大,电致发光的强度也随着增大,这是典型的电致发光的特征。此外,主要发光峰的位置在386nm附近,这来源于ZnO近带边跃迁产生的紫外光发射。
机译: 制备纳米晶硅/非晶加氢硅异质结的太阳能电池及具有这种异质结的太阳能电池的方法
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机译: P型硫属化物和n型硅异质结红外光电二极管及其制造方法