功能液滴喷头的初期填充方法及其初期填充装置

摘要

本发明的功能液滴喷头(3)的初期填充方法，是在向工件喷出功能液滴的功能液滴喷头(3)的喷头内流路中初期填充由功能液或该功能液的溶剂构成的填充液(68)的功能液滴喷头(3)的初期填充方法，具备：将与喷头内流路相连的功能液滴喷头(3)的功能液导入口(51)密封的密封工序、在贮存于密闭容器(71)中的填充液(68)中浸渍功能液滴喷头(3)的浸渍工序、将密闭容器(71)的内部减压至给定的真空度而将密闭容器(71)内的气氛气体排出的减压工序、在减压工序之后恢复密闭容器(71)的内部压力的复压工序。