法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-12-12
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-10-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-06-14
公开
公开
机译: 利用微颗粒减少涂层的等离子体源和利用微颗粒减少涂层的等离子体源用于薄膜涂层的沉积和表面改性的方法。
机译: 利用微颗粒减少涂层的等离子体源和利用微颗粒减少涂层的等离子体源用于薄膜沉积和表面改性的方法
机译: 利用微颗粒减少涂层的等离子体源和利用微颗粒减少涂层的等离子体源用于薄膜沉积和表面改性的方法