薄膜图案形成方法、半导体器件、电光学装置、电子仪器

摘要

薄膜图案形成方法包括：在形成对于包含构成第一薄膜的薄膜材料的功能液具有亲液性的第二薄膜的步骤；在第二薄膜的表面进行付与对功能液的疏液性的处理的步骤；除去第二薄膜的一部分，形成规定第一薄膜图案形状的凹部的步骤；向凹部喷出功能液的步骤；使向凹部喷出的功能液干燥，形成第一薄膜的步骤。半导体器件的电路配线，用所述薄膜图案形成方法形成，电光学装置具备该半导体器件，电子仪器具备所述电光学装置。