按预定浓度输送稀释气体的现场气体混合与稀释系统

摘要

一种用于输送稀释活性流体的装置和方法，如向半导体制造厂的下游活性流体消耗处理单元输送稀释流体。所述输送系统包括活性流体源；稀释流体源；流体流量计量装置，其用于以预定流率分配活性流体；混合器，设置其用来把来自活性流体源的、由流体流量计量装置以所述预定流率分配的活性流体与稀释流体混合，以形成稀释活性流体混合物；以及监测器，设置其用来测量稀释活性流体混合物中的活性流体的浓度，并相应地调整流体流量计量装置，从而控制活性流体的分配速度，并将稀释活性流体混合物中的活性流体保持在预定浓度。