公开/公告号CN1749860A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 海力士半导体有限公司;
申请/专利号CN200510051953.1
发明设计人 朴赞河;
申请日2005-02-23
分类号G03F7/20;H01L21/027;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人李晓舒
地址 韩国京畿道
入库时间 2023-12-17 17:03:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-02-10
发明专利申请公布后的驳回
发明专利申请公布后的驳回
2006-05-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-03-22
公开
公开
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