转移微电子和其它工业生产过程中的超临界流体的方法

摘要

一种将超临界流体从压力容器(例如在微电子生产工艺中)中置换出来的方法，其包括以下步骤：提供密闭压力容器，其中含有第一超临界流体(所述超临界流体优选包括二氧化碳)；向所述容器中加入第二流体(典型地，也为超临界流体)，其中第二流体添加的压力高于第一超临界流体的压力，第二流体的密度低于第一超临界流体；在所述第一超临界流体和第二流体之间形成界面；在所述第二优选流体的压力下，将至少部分所述第一超临界流体从容器中置换出来，同时维持之间的界面。