微电子器件工业生产中的静电防护研究

摘要

从ESD过程分析入手，对微电子器件工业生产中的静电来源以及泄放途径进行了剖析，介绍了4种静电放电模型，进而阐述了微电子器件工业生产中的静电防护技术以及静电防护体系，以确保静电防护的有效性。实测表明:经过软硬件电磁兼容处理后，该系统的测试精度及小信号识别能力得到了很大的提高。