浅析微电子器件静电损伤的测试

摘要

随着现代科学技术的发展,电子、通讯等高新技术产业也在迅速崛起,电子仪器和电子设备正在朝着小型化、智能化、多功能化方面发展,而微电子器件成为当下电子产品实现小型化、智能化、多功能的必要原件。这种微电子器件具有外部结构简单、集成度高、功率低的特点,这些特点导致了这种微电子器件对静电比较敏感。本文立足于微电子器件特征和静电放电特点,通过实验分析出静电放电对微电子器件的影响,并提出相应的防护措施。