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具有Ir－Ru合金电极的铁电电容器和铁电存储器以及制造它们的方法

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摘要

一种铁电电容器，其中包括：包含Ir和Ru合金的第一电极；设置在第一电极上的铁电层；以及设置在铁电层上的第二电极。一种铁电存储器，包括基底和基底上设置的多个存储器单元。每一存储器单元包括：含有Ir和Ru合金的第一电极；设置在第一电极上的铁电层；以及设置在铁电层上的第二电极。

公开/公告号CN1728399A

专利类型发明专利
公开/公告日2006-02-01

原文格式PDF
申请/专利权人三星电子株式会社;
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申请/专利号CN200410103884.X
发明设计人申尚旻;金锡必;朴永洙;李正贤;具俊谟;
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申请日2004-11-20
分类号H01L29/00;H01L27/10;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/82;H01G4/33;H01G4/008;H01G4/08;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人张平元
地址韩国京畿道
入库时间 2023-12-17 16:59:29

1. 具有Ir－Ru合金电极的铁电电容器和铁电存储器以及制造它们的方法 [P] . 中国专利： CN1728399A . 2006-02-01
2. 铁电体电容器、铁电体电容器的制造方法、铁电体存储器 [P] . 中国专利： CN100585851C . 2010.01.27
3. Ferroelectric capacitor and ferroelectric memory with Ir-Ru alloy electrode and method of manufacturing the same [P] . 美国专利： US7745233B2 . 2010-06-29

机译：具有Ir-Ru合金电极的铁电电容器和铁电存储器及其制造方法
4. Ferroelectric capacitor and ferroelectric memory with Ir-Ru alloy electrode and method of manufacturing the same [P] . 美国专利： US2009098697A1 . 2009-04-16

机译：具有Ir-Ru合金电极的铁电电容器和铁电存储器及其制造方法
5. Ferroelectric capacitor and ferroelectric memory with Ir-Ru alloy electrode and method of manufacturing the same [P] . 美国专利： US7459736B2 . 2008-12-02

机译：具有Ir-Ru合金电极的铁电电容器和铁电存储器及其制造方法