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铁电体电容器、铁电体电容器的制造方法、铁电体存储器

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摘要

本发明提供一种可靠性良好的铁电体电容器及其制造方法。铁电体电容器(100)包括：基板(20)；形成于所述基板(20)的上方的第一电极(22)；形成于所述第一电极(22)的上方的、由用Pb(Zr，Ti)O₃表示的复合氧化物构成的第一铁电体层(24)；形成于所述第一铁电体层(24)的上方的、由用Pb(Zr，Ti)_1-XNb_XO₃表示的复合氧化物构成的第二铁电体层(26)；以及形成于所述第二铁电体层(26)上方的第二电极(30)。

著录项

公开/公告号CN100585851C

专利类型发明授权
公开/公告日2010-01-27

原文格式PDF
申请/专利权人精工爱普生株式会社;
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申请/专利号CN200710106713.6
发明设计人木岛健;
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申请日2007-05-30
分类号H01L27/00(20060101);H01L27/10(20060101);H01L21/02(20060101);H01L21/82(20060101);H01G4/30(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人余刚;尚志峰
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 09:03:56

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-01-27

授权

授权
2008-01-30

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-12-05

公开

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