法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-10-03
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-09-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-27
公开
公开
机译: 用于有机电子装置的薄膜形成装置保护膜形成装置及其使用的薄膜形成方法
机译: 用于有机电子装置的薄膜形成装置保护膜形成装置及其使用的薄膜形成方法
机译: 薄膜形成装置,薄膜形成方法,制造液晶装置的装置和方法,液晶装置,制造薄膜结构,薄膜结构和电子设备的装置和方法