用光化学处理提供巨磁阻研磨板组织形成物的方法和设备

摘要

描述了一种制造研磨板的系统和方法。在一个例子中，研磨板是由在锡锑板上覆盖光致抗蚀剂并用穿过金属丝网掩模的UV光线曝光先前得到的光致抗蚀剂层制成的。在显影后，未被蚀刻的区域可以被作为填充金刚石的平台区域。该方法可以使研磨板上的人造物更少和金刚石微粒的尺寸更小，其结果是更好地加工读/写头，特别是GMR头。