两维定位控制方法和两维定位控制设备

摘要

提供一种以最小的振动频率快速执行两维定位控制的两维定位控制方法。该方法包括振动分布于在预定的两维平面上基本限定范围中的至少或是分布于预定两维平面上的基本范围种的空间传播能量，或者能量输入的能量输入系统，从而使在其中的两维平面上相对运动形成的轨迹是椭圆的步骤；检测在椭圆轨迹上的至少两对点处的能量的步骤，以及计算各自对点处的检测到的能量之间的差；以及计算依据检测到的能量之间的步骤，从而检测能量和在两维平面上的能量输入装置之间的位移。