公开/公告号CN1623699A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院南京土壤研究所;
申请/专利号CN200310106531.0
申请日2003-12-05
分类号B09C1/08;
代理机构
代理人
地址 210008 江苏省南京市玄武区北京东路71号
入库时间 2023-12-17 16:08:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-04-18
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-08-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-06-08
公开
公开
机译: 铜污染在硅晶片的再生过程,铜污染检测方法和硅晶片的再生方法中占有特殊的地位
机译: 去除镀锡槽中的铜污染
机译: 利用下游氧气和螯合剂等离子体去除铜污染的方法