用于修正卷到卷工艺中薄片变形的方法和系统

摘要

本发明包括一种用于修正卷到卷工艺中薄片变形的方法和系统。本发明包括能动态调节卷到卷工艺中薄片[210]平面度的可控机械元件[230]。通过在卷到卷工艺中调节薄片[210]，极大地增加了连续构图步骤中层对层的对准精度，由此使得能够生产具有低叠加电容和更高分辨率的电子结构。本发明的第一方面是用于修正卷到卷工艺中薄片变形的方法。该方法包括启动与柔性薄片衬底[210]相关的卷到卷工艺，探测卷到卷工艺中柔性薄片衬底[210]中的变形，并根据探测到的变形动态对准柔性薄片衬底[210]。