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一种获得二氧化钛薄膜的方法

摘要

本发明提供一种获得二氧化钛薄膜的方法,其特征在于先在玻璃或瓷砖表面通过磁控溅射镀膜机沉积一层钛膜,然后将表面沉积了一层钛膜的玻璃或瓷砖,放置于加热炉中,使玻璃或瓷砖表面的钛膜氧化成二氧化钛膜。获得的二氧化钛薄膜牢固地附着在玻璃或瓷砖基底上,而且获得均匀性好的膜层,本发明工艺重复性好,质量控制易,适宜进行工业批量生产。

著录项

  • 公开/公告号CN1587152A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2005-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市梅雁微纳科技有限责任公司;

    申请/专利号CN200410051147.X

  • 发明设计人 闻航;黄琼霖;黄荣芳;余瑜;

    申请日2004-08-16

  • 分类号C03C17/27;C04B41/85;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 518000 广东省深圳市宝安西乡桃花源科技创新园

  • 入库时间 2023-12-17 15:55:48

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-08-08

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2007-01-24

    地址不明的通知 收件人:黄琼霖 文件名称:视为撤回通知书(实审) 申请日:20040816

    地址不明的通知

  • 2006-04-19

    地址不明的通知 收件人:黄琼霖 文件名称:第一次审查意见通知书 申请日:20040816

    地址不明的通知

  • 2005-05-04

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-03-02

    公开

    公开

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