光学自由曲面三维形貌高精度非接触测量方法及装置

摘要

本发明涉及大曲率面形的复杂曲面零件的高精度原位检测。为提供对前述零件非接触，对零件表面的检测，本发明采取的技术方案是，光学自由曲面三维形貌高精度非接触测量方法及装置：使用光栅投影装置对被测物体表面投影正弦光栅条纹，由图像采集装置获取经被测物体表面调制的变形条纹图，送入计算机恢复出被测物体表面三维形貌；用白光扫描干涉测头对被测物体局部特征进行纳米级精度扫描测量，由白光扫描图像采集装置获取干涉条纹图，送入计算机得到测量区域的三维形貌数据；将光栅投影视觉检测单元和白光扫描干涉测量单元测量得到的数据通过多传感器海量数据融合算法和相应的误差分离与补偿措施得到结果。本发明主要应用于零件的高精度原位检测。