基于计算全息法的高精度光学自由曲面反射镜检测

摘要

自由曲面引入到空间光学系统中可以大大提高光学设计者的灵活性,得到性能更加优异的光学系统.计算全息图(CGH)技术是实现自由曲面光学检测的重要检测手段之一,为了实现一凸自由曲面的高精度面形检测、精确定位和光路对准,使用自行开发的CGH设计软件,设计完成了同时具有面形检测、检测光路对准和被检自由曲面反射镜定位等多项功能的CGH元件,通过对自由曲面反射镜的高精度加工,最终面形误差收敛到PV值小于1/4λ(λ=632.8nm),RMS值小于1/40λ,检测误差RMS值小于0.004λ.