灰色调掩模的缺陷检查方法和灰色调掩模的制造方法

摘要

本发明提供一种灰色调掩模的缺陷检查方法，该灰色调掩模在薄膜晶体管基板的制造工序中使用，并具有遮光部(11a、11b)、透光部(12)和灰色调部(13)，其特征在于，上述方法包括把具有超过规定容许范围的缺陷水平的黑缺陷和/或白缺陷的掩模作为不良而抽出的灰色调部的缺陷检查工序；关于上述规定容许范围，白缺陷的比黑缺陷的大(使白缺陷的阈值较大(不严格)，使黑缺陷的阈值较小(严格))。从而可在不降低灰色调掩模制造的成品率的前提下防止在TFT基板中发生缺陷。