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用于金属氟化物的单晶拉拔装置

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一用于金属氟化物的单晶拉拔装置，其包括：一设置在腔室内并充填单晶制造材料的熔融熔液的坩埚，一设置成包围坩埚的熔化加热器，一可垂直移动的单晶拉拔杆，其包括一在末端上并与充填在坩埚内的单晶制造材料的熔融熔液接触的晶种，一设置在腔室内的绝热壁，其包围在坩埚上部的单晶拉拔区域的至少一周缘侧部分，一用来关闭绝热壁的上部的上端的开口部分的天花板，以及一由绝热壁和天花板包围的单晶拉拔腔室，其中，天花板设置有用来插入单晶拉拔杆的至少一个插入孔，以及沿天花板的厚度方向的导热参数是1000至50000W/m

著录项

公开/公告号CN1502726A

专利类型发明专利
公开/公告日2004-06-09

原文格式PDF
申请/专利权人德山株式会社;
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申请/专利号CN200310116500.3
发明设计人绳田辉彦;宫崎英孝;柳裕之;新田真一;伊藤春正;山鹿功雄;
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申请日2003-11-19
分类号C30B15/00;C30B29/12;
代理机构上海专利商标事务所;
代理人吴明华
地址日本山口县周南市
入库时间 2023-12-17 15:22:13

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2006-07-19

发明专利申请公布后的视为撤回

发明专利申请公布后的视为撤回
2004-06-09

公开

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