采用二氧化碳清洁处理来去除旋涂材料的边缘珠粒

摘要

本发明提供了从旋涂薄膜去除边缘珠粒的方法。通过旋转一旋转涂覆的衬底(3)，使流体膨胀通过一个喷嘴(10)形成低温气雾流(11)，并在衬底(3)旋转时，使低温气雾流(11)对准区域(4)中的旋涂薄膜(1)，则可从与表面(2)的边缘(5)邻近的旋转涂覆衬底(3)的表面(2)的区域(4)除去旋涂薄膜(1)。此薄膜可能包含一种烷氧基硅烷和一种低挥发性溶剂。所述流体可以主要包括液态二氧化碳。含低挥发性溶剂的旋涂薄膜(1)不会往回生长到原来薄膜被去除的区域(4)，这种边缘珠粒去除过程的时间可以降至约10秒以下，并且废弃溶剂的量也减少了。