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公开/公告号CN1494602A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-05-05
原文格式PDF
申请/专利权人 霍尼韦尔国际公司;
申请/专利号CN01821540.8
发明设计人 T·斯科特;J·李;
申请日2001-10-24
分类号C23C14/34;H01J37/34;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人温大鹏
地址 美国新泽西州
入库时间 2023-12-17 15:18:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-01-27
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-07-07
实质审查的生效
2004-05-05
公开
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