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公开/公告号CN1266304C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 霍尼韦尔国际公司;
申请/专利号CN01821701.X
发明设计人 V·塞加尔;S·费尔拉泽;F·E·阿尔福特;
申请日2001-10-26
分类号C23C14/34(20060101);C22F1/00(20060101);H01J37/34(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人温大鹏
地址 美国新泽西州
入库时间 2022-08-23 08:58:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-12-26
专利权的终止未缴年费专利权终止
2006-07-26
授权
2004-06-02
实质审查的生效
2004-03-24
公开
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