靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响

摘要

为了开发用于真空微电子平板摄像管Vacuum Microelectronics Flat Panel Camera Tube(VME-FPC)的高灵敏度CdSe多层光导材料,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理二种热处理新工艺[1,2],制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶.使我们的CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级,而清晰度(分辨率)保持不变.本文将主要阐述CdSe蒸发工艺对靶面特性影响的实验结果和取得的成就.