一种喷墨式打印头晶粒的喷孔片的制作方法

摘要

本发明公开了一种晶圆阶段制作的喷孔片结构，其中硅基底包含有一致动组件；一光阻薄膜形成于硅基底的表面上；一第一开口形成于光阻薄膜内，以暴露致动组件的表面，可以作为一喷墨腔；一第一金属层形成于光阻薄膜的表面上；一第二金属层形成于第一金属层的表面上；以及一第二开口贯穿第二金属层以及第一金属层，且位于第一开口的上方，以作为一喷孔。