法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-10-26
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F1/00 变更前: 变更后: 申请日:20020328
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2006-05-31
授权
授权
2003-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-10-15
公开
公开
2002-07-24
实质审查的生效
实质审查的生效
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