灰调掩模以及灰调掩膜中灰调部的缺陷修正方法

摘要

本发明提供一种对于用现有的修正方法实际上很难修正的灰调部中的缺陷，可容易地修正的修正方法。例如，在包含白缺陷的区域中形成修正膜(8)之后，用与正常图形具有相同的灰调效果的形状及/或排列除去上述修正膜(8)的一部分，形成与正常图形(3a、3b)的宽度和位置不同的修正图形(3a’、3b’)。