用于场发射阴极中动态电子束形状修正的分段栅极驱动器

摘要

本发明公开了一种用于电子束形状的动态调整的场发射阴极。通过将栅极场发射阴极的栅极电极(17)分段、并独立地驱动不同的栅极段来形成所需的电子束形状，电子束形状调整得以完成。随着电子束被偏转，栅极段可以导通和截止，这允许动态调整电子束的像差。聚焦透镜(32)可以设置在栅极阴极上，以产生平行电子束。此外，可以制造中空阴极来将电子束中的空间电荷的排斥减至最小。