具有微小栅极孔径的场发射阴极的模拟

摘要

利用有限元方法计算了具有微小栅极孔径的Spindt结构场发射阴极在不同栅极形状、孔径、电压下的电场分布和电子轨迹,并根据电子运动轨迹计算了场发射电子束的发散角和发射效率.计算结果表明微小栅极孔径可以有效减小场发射电子束的发散,同时通过调整栅极的形状可以获得较高的场发射效率.