法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-06-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/66 授权公告日:20060322 申请日:20010228
专利权的终止
2006-03-22
授权
授权
2004-05-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2002-10-09
公开
公开
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