一种光路可伸缩的CCD器件光电参数测试装置

摘要

一种光路可伸缩的CCD器件光电参数测试装置,属于光电测试技术领域中的一种对CCD器件光电参数进行检测的装置。本发明要解决的技术问题是:被测CCD器件的平面能获得均匀的照射面且有足够的辐射能量,辐射照度应能连续可调,光路上尽量减小或消除杂光辐射。技术方案是采用光路折转结构,入射光线经过两块反射棱镜反射,将光线行进方向折转180°,出射光路平行于入射光路。本发明包括光源部分、伸缩皮腔、光路折转部分和测试与参考监测部分,伸缩皮腔将光源部分、测试与参考监测部分与光路折转部分封闭式连接起来,整个装置构成密封封闭结构,光路可伸缩完全能满足不在暗室条下对CCD器件光电参数的测试工作。