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一种光电器件几何参数测试方法

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简单介绍了光电器件几何参数,找到了一种测试工具-万能工具显微镜,探讨了用新工具测试几何参数的方法,有效解决了深度测量的难题.

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来源
《光电技术应用》 |2003年第1期|32-34|共3页
作者
赵洪杰; 孙洪拓;
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作者单位

东北电子技术研究所,辽宁,锦州,121000;

东北电子技术研究所,辽宁,锦州,121000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试、调整及设备;
关键词
光电器件; 万能工具显微镜;

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